داخل مصنع رقائق السيليكون، يتم قياس التلوث بأجزاء في المليار. يمكن لمادة تتساقط منها جسيم معدني واحد أو ترشح الصوديوم إلى غرفة المعالجة أن تدمر دفعة كاملة. لهذا السبب أصبحت السيراميك المصنوع من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء مادة قياسية للمحامل، والمشابك، والغرف، والموصلات. تشرح هذه المقالة ما يجعل سيراميك أكسيد الألومنيوم عالي النقاء مناسبًا لمعدات معالجة أشباه الموصلات، وما هي الأرقام التي يجب على المشتري التحقق منها.سؤال العميل: "لماذا لا نستخدم الألومينا القياسية؟"الألومينا القياسية بنسبة 96٪ هي عازل كهربائي جيد، لكنها تحتوي على مرحلة رابطة زجاجية مع الصوديوم والكالسيوم وعناصر أخرى نادرة. تحت البلازما والتحيز العالي، تهاجر هذه العناصر من السطح وتلوث الرقاقة. سيراميك أكسيد الألومنيوم عالي النقاء - عادةً ألفا-ألومينا بنسبة 99.5٪ أو أفضل - يزيل الرابطة، لذلك يظل السطح صامتًا كيميائيًا حتى في كيمياء الفلور والكلور القوية.لماذا الأهمية المشتركة للنقاء والكثافةالنقاء وحده لا يكفي. يجب أن يكون الجسم كثيفًا بالكامل، مع عدم وجود مسامية مفتوحة. المسام المفتوحة تحبس غاز العملية، وتخرج الغازات إلى الغرفة، وتحتفظ بالجسيمات التي تتساقط لاحقًا على الرقاقة. الميكرو بنية الكثيفة والنقية توفر ثلاث فوائد في وقت واحد: لا يوجد خروج للغازات، الحد الأدنى من توليد الجسيمات، ومقاومة كهربائية عالية تظل عالية حتى في درجة حرارة العملية. قوة الانثناء العالية تسمح بأشكال رقيقة ومسطحة تدعم الرقاقة دون انحناء.كيفية التحديدحدد الحد الأدنى للنقاء (99.5٪ نقطة دخول شائعة) والحد الأقصى لإجمالي الشوائب.
حدد تشطيب السطح حسب العملية: غالبًا ما يكون التجليخ كافيًا، بينما تحتاج الأجزاء المواجهة للبلازما إلى وجه مصقول ومنخفض الخشونة.حدد التسطيح لأسطح تلامس الرقاقة بحيث يظل سمك الفيلم موحدًا.اتفق على بيانات الفحص وتعبئة غرفة نظيفة قبل إصدار أول قطعة.
تشمل الأجزاء النموذجية ألواح حاملة عالية النقاء لمعالجة الرقائق، ومشابك رقائق مصقولة من الألومينا، ورقائق وألواح ألومينا لدوائر الأغشية الرقيقة، وكلها منتجة حسب الرسم مع تتبع رقم تسلسلي.
إجمالي الشوائب< 5000 جزء في المليون(P)الكثافة3.92 جم/سم3(P)المسامية المفتوحة
| (P) | قوة الانثناء | 380 ميجا باسكال |
|---|---|---|
| (P) | مقاومة الحجم (20 درجة مئوية) | قراءات ذات صلة |
| (P) | خشونة السطح (مصقول) | قراءات ذات صلة |
| (P) | عدد تساقط الجسيمات على الجزء النهائي | قراءات ذات صلة |
| (C) | مفتاح الأساس: (P) مواصفات صفحة المنتج؛ (T) قيمة مادة نموذجية؛ (C) سيتم تأكيده بواسطة اختبار الجسيمات وخروج الغازات في غرفة نظيفة. | قراءات ذات صلة |
| هل نقاء 99.5٪ كافٍ للحفر بالبلازما؟ | بالنسبة للعديد من أدوات الحفر والترسيب، نعم، بشرط أن يكون الجسم كثيفًا بالكامل. قد تتطلب الكيمياء الأكثر قوة 99.7٪ أو سيراميكًا مختلفًا، لذا تحقق مقابل العملية الفعلية. | قراءات ذات صلة |
| المسام المفتوحة تخرج الغازات وتحبس الجسيمات. الجزء الكثيف بالكامل يحمي استقرار ضغط الغرفة ونظافة الرقاقة. | هل يمكنك مطابقة جزء OEM بدون رسم؟ | قراءات ذات صلة |
| ما وراء الجزء الواحد | تعمل لوحة الحامل كجزء من تجميع، لذا يجب أن يتطابق تسطيحها وتوحيد سمكها وميزات التركيب الخاصة بها مع الأجهزة المتزايدة والروبوت الذي يقوم بتحميل الرقاقة. اتساق الدفعة تلو الأخرى مهم أيضًا أكثر من أي قيمة مقاسة واحدة: عملية مضبوطة حول دفعة واحدة ستنحرف إذا كانت الدفعة التالية لها كثافة أو تشطيب مختلف. هذا هو المكان الذي تدفع فيه الوثائق ثمنها. الإصرار على جزء من سيراميك أكسيد الألومنيوم مع بيانات تسطيح وتشطيب لكل تسلسل، وتعبئة نظيفة، ودفعة مواد قابلة للتتبع يزيل التخمين من التأهيل ويقصر وقت الوصول إلى الإنتاج. | قراءات ذات صلة |
| لمعرفة كيف يتناسب الألومينا مع صورة ركائز السيراميك الأوسع جنبًا إلى جنب مع AlN و Si3N4، اقرأ هرم ركائز السيراميك ذي الثلاث طبقات. |
